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KAYDON半導體制造用軸承的技術趨勢與特點
KAYDON半導體制造用軸承的技術趨勢與特點
在如今,以半導體制造業(yè)為代表的先進行業(yè)的生產加工環(huán)境十分復雜,涉及多種因素,一是真空,許多半導體部件的加工都在真空環(huán)境中進行,這就對其中運行的軸承提出了前所未有考驗,二是清潔,真空環(huán)境生產的目的就是為了清潔,所以軸承傳統(tǒng)的潤滑方式就不再適合,三是腐蝕,半導體制造產生的雜質中,多有酸性特征,其腐蝕性對相關環(huán)節(jié)軸承亦有較高的要求。
但在半導體制造業(yè)中,軸承又是不可或缺的,因此這里使用的軸承就需要耐真空,更清潔,更耐用,以及更耐腐蝕。NHBB開發(fā)了多種半導體制造業(yè)軸承專用材質,以及多種在超高真空環(huán)境、清潔環(huán)境及腐蝕環(huán)境中使用的潤滑劑,滿足了人們對半導體制造業(yè)中使用的軸承的期望。
這些材質和潤滑主要包括馬氏體不銹鋼、MoS2磷酸鹽涂層、特殊PTFE涂層、耐腐蝕涂層、陶瓷涂層等等,主要潤滑脂包括低顆粒潤滑脂、通用固體潤滑脂、食品級、高溫、抗放射性潤滑脂、導電潤滑脂(EP-2)、導電氟潤滑脂(EF-2)等等,正是這些新材料,支撐起了半導體制造業(yè)用軸承。
這些軸承按使用環(huán)境可分為三類,一是航空航天設備,真空設備用的通用真空環(huán)境用軸承,二是半導體制造設備,LCD面板制造設備用的清潔環(huán)境用軸承,三是金屬板蝕刻設備,顯影劑,清洗設備用的腐蝕環(huán)境用軸承,也有三種類型兼?zhèn)涞妮S承,這些軸承為半導體工業(yè)的發(fā)展,提供了重要的支持。
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更新時間:2022-8-30 【
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